Avec l’éclairage coaxial, la lumière est dans l’axe de la trajectoire optique et n’éclaire donc que la partie de l’échantillon également vue dans le microscope. Une LED est intégrée sur le côté des modèles coaxiaux de Dino-Lite. Cette LED émet sa lumière sur un miroir agissant comme un séparateur de faisceau qui projette la lumière directement sur l’échantillon, et renvoie instantanément l’image formée vers le capteur de bord. 

L’application la plus utilisée de l’éclairage coaxial dans l’industrie du semi-conducteur est le contrôle de qualité et l’inspection des plaques de tranche. Avec l’éclairage sur fond clair standard, les structures et les couches supérieures ne sont pas toutes visibles, tandis qu’avec l’éclairage coaxial, ces détails apparaissent. D’autres applications sont l’inspection des surfaces métalliques polies et traitées chimiquement, l’inspection des puces électroniques, la microélectronique et de nombreuses autres surfaces qui apparaissent plates ou sans contraste quand l’éclairage sur fond clair.